| 产品特性：高精度 | 新旧程度：9成新 | 型号：13.6B |
| 设备所在地：东莞 | 设备生产产地：湖南 | 产品数量：16 |
| 品牌：东莞金研 | 游星轮：5 | 直径：980 |
| 电机：4个 | 平行度：0.002 |
二手赫瑞特13B-5P硅片(4寸-6寸-8寸-12寸）双面抛光机、双面研磨机设备照片
序号 | 项目 | 规格参数 | |
1 | 下盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨) |
Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光) | |||
转速 | 3-45 rpm | ||
驱动电机 | 7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | ||
2 | 上盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨) |
Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光) | |||
转速 | 3-30 rpm | ||
驱动电机 | 4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm | ||
3 | 游星轮 | 参数 | 节距：15.7 Z=64 |
数量 | 6个 | ||
4 | 太阳轮 | 转速 | 0-20 rpm |
驱动电机 | 1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | ||
5 | 精度指标 | 上、下盘平面度 | ≤0.015mm |
下盘端跳 | ≤0.02mm | ||
6 | 加工范围 | 加工尺寸 | Φ280mm |
最小加工厚度 | 0.15mm(≤2"片） | ||
整盘承载量 | 18×6=108片（2" 圆片） | ||
7 | 水源 | 纯水或自来水 | |
8 | 电源 | 功率 | 14kW AC380V 50Hz |
线缆规格 | 三相五线刮．3×4mm?+2×2.5mm? | ||
9 | 气源 | 压力 | 压缩空气源0.5-0.6Mpa |
接管口径 | 接口Φ10mm（外径） | ||
10 | 外形尺寸 | 长×宽×高：1650mm×1300mm×2500mm | |
11 | 重量 | 约3000Kg | |
